电子级二氯二氢硅(化合物)

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电子级二氯二氢硅electronic grade 二氯硅烷，是在室温和大气压力下的一种高可燃、腐蚀性有毒气体。

常温常压下，是一种高可燃、具腐蚀性的有毒气体，沸点8.2℃，熔点一122℃。蒸气压：101.33kPa(8.2℃，167.18kPa (20.0℃)，303.98kPa (40℃)，526.89kPa(60℃)。在21.1℃和101.3kPa下气体比容0.239m3/kg。液体密度：1235kg/m3(21.1℃), 1188kg/m3 (40.6℃)。临界温度176.0℃，临界压力467kPa,临界密度463kg/m3。与空气和氧化剂混合形成燃混合气。在空气中的可燃限4.1%～98.8%（体积分数）；自燃温度58℃。在空气中能点燃，其蒸气比空气重得多。与水或水汽接触迅速水解产生硅、硅氧烷和盐酸。与眼睛、皮肤和黏膜接触会导致严重烧伤。在水中发生反应。